（原标题：两辽宁籍半导体设备企业披露半年报 研发投入均大增）

8月28日晚，来自辽宁省的两家半导体装备类上市公司--拓荆科技(688072)、芯源微(688037)双双披露2023年半年报，两家公司的营业收入和净利润均实现增长。

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据芯源微半年报，报告期内，公司实现营业收入6.96亿元，同比增长37.95%；实现净利润1.36亿元，同比增长95.48%；基本每股收益0.99元。

芯源微作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，经过长期的技术积累和在客户端的验证及量产应用，目前已完成在前道晶圆加工环节28nm及以上工艺节点的全覆盖，并可持续向更高工艺等级迭代。芯源微今年上半年营业收入同比增长37.95%，主要原因是公司产品竞争力不断增强，收入规模持续增长。

芯源微上半年研发投入7697.75万元，同比增长80.33%，研发投入占营业收入的占比为11.07%，主要系公司持续加大研发投入，职工薪酬、研发材料增加所致。今年上半年，芯源微研发人员的数量为306人，上年同期为253人；今年上半年研发人员薪酬合计为4271.19万元，上年同期为3126.62万元。

半年报显示，芯源微目前的在研项目包括前道涂胶显影设备及核心单元研发和产业化、高端封装涂胶显影设备研制、单片式湿法设备研制、核心零部件技术研发，预计总投资规模4.67亿元。本期投入金额7697.75万元，累计投入金额3.17亿元。

拓荆科技今年上半年实现营业收入10.04亿元，同比增长91.83%；实现净利润1.25亿元，同比增长15.22%；扣非净利润6518.25万元，同比增长32.65%；基本每股收益0.98元。

今年上半年，拓荆科技营业收入接近翻倍，主要受益于国内晶圆厂持续扩产带来的需求增加，公司在手订单充足，产品线不断完善，新产品在客户端验证通过，持续获得更多客户的认可。公司新产品及新工艺经下游用户陆续验证导入，销售收入放量增长。

今年上半年，拓荆科技的PECVD设备实现销售收入9.08亿元，较上年同期增长94.35%；HDPCVD设备、应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备顺利通过客户端产业化验证，实现了首台的产业化应用，ALD设备、SACVD设备持续获得客户验收，均实现销售收入。

值得注意的是，拓荆科技今年上半年营业收入同比大增91.83%，但是净利润和扣非净利润增速均明显不及营业收入。对此，拓荆科技表示，净利润和扣非净利润低于营业收入增长率，主要原因为本期确认股份支付费用1.26亿元，剔除股份支付费用影响后，净利润同比增长129.15%、扣非净利润同比增长283.68%。

拓荆科技始终在高端半导体专用设备领域深耕，并专注于薄膜沉积设备的研发与产业化，不断开拓新产品，拓展工艺应用领域，始终保持高强度的研发投入。据拓荆科技半年报，公司今年上半年的研发投入为2.1亿元，同比增长78.77%，主要系研发人员薪酬及股份支付费用增加。

今年上半年，拓荆科技在研项目中“PECVD系列产品及工艺开发与产业化项目”、“PE-ALD系列产品及工艺研发与产业化”、“Thermal-ALD系列产品及工艺研发与产业化”、“深沟槽填充薄膜工艺系列产品研发与产业化”预计总投资规模较2022年均有所增加，主要系公司围绕客户需求持续优化升级、拓展工艺应用所需研发费用增加。